直線模組：特點
A. 直線電機直驅(qū)
B. 高精度以及精準(zhǔn)回零
C. 3種蓋板可供選擇（包括無塵室蓋板）
D. 行程從100 mm 至1200mm
E. 模塊化設(shè)計
直線電機直驅(qū)
采用Akribis直線電機對模組進(jìn)行直接驅(qū)動。兩種型號電機可供選擇: AUM系列（無鐵芯電機）ACM系列（有鐵芯電機）。AUM系列為客戶提供低速更加穩(wěn)定的模組系統(tǒng)。ACM系列在相同尺寸下為客戶提供更大的直驅(qū)推力。
高精度以及精準(zhǔn)回零
DGL系列標(biāo)準(zhǔn)模組采用高精度的光柵編碼器系統(tǒng)，為客戶提供高精度的定位平臺。
模塊化設(shè)計
DGL系列采用標(biāo)準(zhǔn)化的模塊設(shè)計，可以根據(jù)客戶需求進(jìn)行模塊化組合
| 性能參數(shù) | 單位 | 參考值 |
| 加速度 | G | 10 |
| 速度（分辨率為1μm） | m/s | 5（40μm光柵距和20MHz計數(shù)頻率） |
| 速度（分辨率為0.5μm） | 2.5（20μm光柵距和20MHz計數(shù)頻率） | |
| 速度（分辨率為0.1μm） | 1.3（20μm光柵距和20MHz計數(shù)頻率） | |
| 速度（模擬量編碼器） | 8（40μm光柵距和200KHz輸入頻率） | |
| 4（20μm光柵距和200KHz輸入頻率） | ||
| *直線度 | μm | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm |
| *平面度 | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm | |
| 重復(fù)精度（分辨率為1μm） | ±3μm（40μm光柵柵距） | |
| 重復(fù)精度（分辨率為0.5μm） | ±1.5μm（20μm光柵柵距） | |
| 重復(fù)精度（分辨率為0.1μm） | ±1μm（20μm光柵柵距） | |
| 重復(fù)精度（模擬量編碼器） | ±5counts |
*所有的測量數(shù)值基于模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺面上。
